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合晶科技硅片产品布局完整,应用领域包含集成电路与分离器件所需的各类轻掺、重掺抛光硅片,掺质包括硼、磷、砷、锑以及特殊用途的多元素共掺杂(co-doping)产品,主要分类如下表(以8寸为例),产品细节与其它尺寸欢迎直接联系。

 

请左右滑动表格 

轻掺抛光片 (以8吋、100晶向为例)
产品分类 关键指标 (以> 0.12 μm COP为例) 其它指标
Standard Prime 30-100 particles/wafer 晶向、氧含量、RRG、ORG、BMD、DZ、平坦度、晶边/晶背处理等均可依据客户需求制作
Low COP/Advanced Low COP 10-30 particles/wafer
NPC (Nearly Perfect Crystal) < 10 particles/wafer
Ultra-high Resistivity ---- (除上述外) Res. > 1,000Ω-cm

 

请左右滑动表格 

重掺抛光片 (以8吋、100晶向为例)
掺质种类 关键指标 (以电阻率为例) 其它指标
> 0.6mΩ-cm 晶向、氧含量、RRG、ORG、平坦度、晶边/晶背处理等均可依据客户需求制作
> 0.9mΩ-cm
> 1.8mΩ-cm
> 9.0mΩ-cm
多元素共掺杂 ---- (除上述外) 可共掺杂氮、锗等元素